(1)在制作硅片上
①需在单晶硅基片上制成X-Y像素矩阵下的有源矩阵;
②需在每个有源像点上制成一个要有一定一致性的补偿电容;
③制作遮光层;
④制作1~2μm的盒厚衬垫;
⑤像素表面化学抛光;
⑥像素表面蒸镀反光层;
⑦硅片上的外引线连接。
(2)在制作液晶盒上
①特殊零件的净化操作;
②1~2μm盒厚的控制与封接技术;
③理想的液晶分子定向工艺技术;
④薄盒的液晶灌注技术;
⑤显示模块制造工艺技术。
3.3特殊的设计技术
特殊的设计技术包括液晶与IC的综合设计与制版。
3.4特殊的检测技术
特殊的检测技术是控制LCoS质量之关键,LCoS需有一些不同于普通IC和LCD的特殊电参数与光参数的检测技术。还需有专业测试分析软件,其中包括数据回放软件、时域分析软件及频域分析软件。