北方华创发布首款离子注入机Sirius MC 313，拓展半导体制造装备版图

    3月26日，在SEMICON China 2025大会上，北方华创正式宣布进军离子注入设备市场，并发布首款离子注入机Sirius MC 313。此举标志着公司在半导体核心装备的战略布局上迈出了重要一步。

    在芯片制造流程里，除了备受关注的光刻、刻蚀、薄膜沉积等环节，离子注入设备同样占据着极为关键的地位。离子注入设备能够以极高的精度和效率，将特定元素的带电离子注入半导体材料，从而精准改变材料的电性能，为芯片制造提供不可或缺的技术支撑。其工作原理是先通过离子源产生所需离子，在电场作用下加速至预定能量，再精确注入半导体材料，实现原子的替换或添加，进而调控材料性能。

    据国际半导体产业协会（SEMI）数据，2024 年全球离子注入设备市场规模达 276 亿元，至 2030 年有望攀升至 307 亿元。北方华创此次进军离子注入装备领域，将撬动国内 160 亿元的市场空间，有力推动中国半导体装备在高端市场实现进阶发展。

    凭借二十余年在半导体设备研发领域的深耕，北方华创在等离子体控制、电磁场控制、射频技术、嵌入式开发、算法及仿真等关键技术领域积累了深厚的技术积淀。公司成功构建了涵盖刻蚀、薄膜沉积、炉管、清洗等四大类、三百余款装备的全面技术平台。与此同时，公司持续布局新技术领域，在离子注入设备的束流控制、调束算法、剂量精准控制等关键技术方面取得多项突破，自主开发出具备能量精度高、剂量均匀性好、注入角度控制精度高等特性的高端离子注入设备。

    展望未来，北方华创将以实现离子注入设备全品类布局为目标，推动离子注入设备全面覆盖逻辑、存储、特色工艺及化合物半导体等领域。北方华创将持续加大研发投入，为客户提供高性能、高可靠性的离子注入解决方案，为国内半导体装备产业注入新活力，推动产业技术进步和发展，助力中国半导体产业在全球竞争格局中实现更大跨越。