美国Micro LED技术开发商VerLASE致力于开发以喷墨打印机为概念的Micro LED 巨量转移技术,并且拥有色彩转换技术专利。2020年11月1日,VerLASE宣布其Micro LED巨量转移技术获得了实质性的进展。
VerLASE Micro LED转移制程方案
报道称,VerLASE计划开发用于生产各种Micro LED芯片的工艺流程,芯片尺寸范围涵盖200 X 200 um(Mini LED)、10 X 10 um、最终到 5x5 um。同时,VerLASE还计划展示倒装和垂直薄膜LED两种结构的转移过程。
VerLASE的Micro LED技术是基于其独有的光机械驱动(PMA)技术开发的,也就是通过印章转移结构和能够准确抓取大量Micro LED的新型化学机制,将Micro LED芯片转移到所要求的衬底上,再以高精度和高速度进行分配和放置。
VerLASE宣称,只要操作充分,这项工艺可以实现极高的转移量,且空间精度高。凭借不断突破的巨量转移技术和突破性的色彩转换技术,VerLASE将能够有效推动Micro LED的商用化。