总部位于韩国的OLEDON公司日前宣布开发出一种垂直平面源沉积技术(vertical-plane source deposition),可用于生产小面积和大面积OLED面板。该公司现在正在将这项技术应用于超大型基板,最大尺寸为12代(3300x4000 mm)。
OLEDON表示,目前使用的inline蒸发工艺由于FMM下垂和难以控制多个来源而降低了大面积生产的产量。该公司的垂直平面源沉积可能被证明是一种可行的替代方案。
2017年,OLEDON开发了一种平面源蒸发阴影掩模工艺,可以实现0.38um的阴影距离,从而可以使OLED显示屏的分辨率达到2,250 PPI。该公司表示,此项技术未来将可实现3,300 PPI。