武汉华星光电研发部向Solmates采购ITO沉积设备

    荷兰激光沉积设备制造商Solmates宣布，向华星光电（CSOT）出售了一套小型面板（200×200mm）脉冲激光沉积（PLD）设备，将用于武汉的OLED试产线。华星光电将采用新设备向OLED显示屏上沉积ITO电极。

    Solmates拥有采用脉冲激光沉积实现OLED ITO电极沉积专利，并开发出能在室温下大面积沉积ITO的技术。脉冲激光沉积可以实现高品质ITO沉积，Solmates表示，实现透明度高于目前的工艺。Solmates的设备将被安装于自2016年底开始在武汉建设的自动化装配产线。Solmates将于2017年6月发货。目前的设备主要用于研发，不过该技术也可以扩展到更大基板以及用于生产系统。

    华星光电将采用该设备进行ITO沉积，但也可以配置用于封装层无机层的沉积，这一流程目前采用PECVD或ALD工艺。

    华星光电为TCL子公司，于2015年7月宣布建设武汉6代LTPS工厂。该厂将生产液晶和OLED面板，总投资26亿美元。采用激光脉冲沉积法的新研发产线也位于该厂，将用于新技术研发和改善公司的OLED制造工艺。