智能手机与平板装置(Tablet Device)的蓬勃发展,让低温多晶硅(LTPS)制程技术与触控面板炙手可热,从而推升相关制造设备需求,预估2011年LTPS和触控的设备商可服务市场(SAM)规模将达4亿美元,较2010年大幅增长两倍,为2011年设备供应商的发展注入一股强劲的成长动能。
应用材料(Applied Materials)集团副总裁暨显示器事业群总经理Tom Edman表示,移动装置将是继笔记型电脑、桌上型显示器与大尺寸平面电视后,第四波显示器市场成长的主要驱动力,并将带动庞大的资本设备需求,其中,可让有机发光二极体(OLED)与液晶面板实现更高效能和更高解析度的LTPS背板技术,以及可携式装置正大量导入的多点触控面板,由于需要更多制程设备支出,将是该公司今年抢攻的重点,预估2011年移动显示相关的设备营收比重将占该公司整体显示器事业营收的三成以上。
相较于现今非晶硅(a-Si)技术,LTPS背板由于具有较快的反应速度,可达到更高的解析度,是现今移动显示器追求更高显示效能不可或缺的重要技术,但LTPS的制程远较非晶硅复杂许多,所需的制程设备数量也比非晶硅增加两倍;至于多点触控面板更是移动装置显示器的发展主流,而触控面板至少四至五层的薄膜沉积步骤,亦让物理气相沉积(PVD)与化学气相沉积(CVD)等设备重要性显著提升。
Edman指出,触控面板市场如今已是百家争鸣,尤其是电容触控技术,由于可实现多点触控功能,已成兵家必争之地,不论是传统彩色滤光片或面板制造商,或仅锁定触控面板发展的新进业者,都已大举扩增相关产能。预估未来几年,触控面板市场将持续成长,并激励制设备需求不断攀升。
事实上,为满足触控面板业者提升产量的需求,应用材料日前也推出一款具平行处理能力的PVD制造设备AKT-Aristo Twin,可于单一系统上同时以两条独立轨道进行沉积作业,以提升整体生产效率并降低制造成本。目前,已获得中国大陆和台湾的主要触控面板制造商采用。