各公司采用IGZO TFT(a)技术制造的显示器。(b)为三星2010年11月在“FPD International 2010”上参考展出的70英寸3D液晶电视。(c)为夏普等预定2011年内量产的高精细液晶面板。(d)为东芝在2011年5月的“SID 2011”上展出的柔性有机EL面板。
当时,很多日本面板厂商都在氧化锌(ZnO)半导体的实用化方面遭受过挫折。据说这些厂商对成分与氧化锌半导体相似,而且使用稀有金属In的IGZO表明了拒绝态度。另外一个原因是,当时日本国内的很多面板厂商都专注于LTPS(低温多晶硅)技术。
细野首先与佳能积极进行IGZO的联合研究。但佳能缺乏显示器技术。TFT需要在推进开发的同时评估使用这种晶体管的显示器的影像显示能力,以不断提高性能,但佳能的缺点是“无法在开发TFT时进行信息反馈”。而拥有显示器技术的韩国厂商通过发挥反馈机制的作用,逐步提高了技术成熟度。
两家韩国厂商的开发态度也不相同。“LG没有公开研究成果,对实用化的投资判断也落后于人。而三星对研究成果的讨论采取非常开放的态度,还积极承担了风险”。
也就是说,从基础研究不停走向面板实用化道路的其实只有三星一家公司。而且,三星还不断在各种展会及学会上展出了使用IGZO TFT的液晶面板及有机EL面板,这让“日本国内的面板厂商开始重新考虑IGZO TFT”。另外,凸版印刷好像走上了开发电子纸的自主路线。
与惠普展开技术竞争
细野表示,自己并没有从三星等公司获得任何研发费用,而是一直与其保持一定距离。还就专利与三星乃至韩国专利厅等进行了最大限度的交涉。“如果我们不提供授权的话,三星可能会选择美国惠普(HP)公司正在全球申请专利的竞争技术”。
关于细野在日本获得的IGZO专利,最初韩国并不承认其作为专利技术的新颖性。因此,尽管周围人认为“胜算只有10%”,细野仍要求在韩国进行审判,并亲自站在证人席上陈述了技术的新颖性。2010年11月,其部分观点终于获得认可。细野的努力可能也对此次授权起到了积极作用。
细野在回顾这几年的“奋斗”时表示,“专利技术得到采用才能体现出开发的意义。如果不向三星提供授权而导致专利被埋没的话,将是一件可怕的事情”。