MEMS风险企业MPC开发出了便携投影机新技术,将于2007年开始量产。便携投影机是一种通过调节镜片角度将光源的反射光投射到屏幕上的显示装置。通过组合使用作为光源的半导体激光器与微小的扫描镜,可实现能够内置到手机中的微型投影机。此次,MPC使用聚合物MEMS取代此前的镜片致动器,实现了小型化和低成本设计。
投影机在进行反射光扫描时,一般需要2维扫描镜片的结构。这种结构由纵向扫描镜片的致动器和横向扫描镜片的致动器配合组成。要想实现影像的显示,纵向和横向扫描分别需要60Hz与数KHz以上的频率。开发可实现这种扫描的致动器,目前一般使用硅基MEMS技术。不过,扫描时的频率取决于硅材料刚性的共振频率,使用硅之后,就难以提高或降低速度。
提高速度的方法方面,使用不锈钢等金属提高到几十KHz的方法正在开发之中。使用这一方法,就可以显示HD等高精细影像。
另一方面,扫描频率几十Hz的纵向致动器方面,“以前人们认为难以使用MEMS技术来实现”(MPC)。因此,都在研究如何使用马达等来实现。此次,该公司之所以能实现几十Hz频率的扫描,原因是驱动部分使用了聚合物。至于聚合物的材料成份,该公司没有公布,但透露说是普通材料,比聚酰亚胺柔软。
驱动采用的是一般电磁方式,通过永久磁铁和缠绕线圈的电磁铁来驱动。聚合物在可动部位--镜片的支柱上使用。试制元件的大小为6mm×12mm×3.7mm。将来还可能做得更小。反之,也可以开发出镜片更大的元件。
这样一来,就能够以适于小型化设计的MEMS技术实现纵向和横向的2维扫描。在手机上的配备等应用成为可能。可以不必像个人电脑那样在液晶屏上显示高清画面,而是投射到身边的墙壁上来欣赏。该公司的设想是在7英寸左右的区域中显示画面。
另外,还可以利用聚合物实现以数十KHz进行1维条码扫描的扫描仪的小型化和低成本化。在2维条码日益普及的现在,1维条码的需求依然强劲,该公司的目标是以新产品替代现有1维条码扫描仪。现在的条码扫描仪采用是组装结构,所以掉落时很有可能被摔坏。而使用柔性聚合物的结构则具有很高的抗冲击性。“希望能利用聚合物来开拓移动用途”(该公司会长浅田规裕)。而且,扫描仪的周边电路可以使用现有的元器件.