三星、LPL纷纷导入4个光罩的制程技术

    为了降低成本，三星电子、LPL等韩国TFT-LCD业者纷纷致力于缩减TFT制程中的光罩（mask）照射次数。

    三星电子表示，将把目前采用5个光罩制程的第七代线，全数转换为4个光罩制程，目前其第二座七代线(7-2 Line)已在上个月完成制程转换，第一座七代线(7-1 Line)也将开始进行相关作业。三星电子是在去年11月采用低抵抗的铝合金成功研发出4个光罩制程。

    至于LPL则是从2000年开始积极导入4 个光罩制程，去年年底并在归尾厂的6代线(P6)的部分产线成功导入3个光罩制程。由于转换成3个光罩制程需时约2周，若要进行量产，势必要进一步的技术研发，因此，目前LPL主要仍以既有的4个光罩制程进行生产，一旦若能快速转换成3个光罩制程，其成本竞争力将大幅提升。

    据了解，过去制作一片LCD玻璃基板时，需要历经5-7个光罩制程，目前则可以减少到4-5个光罩。而减少一个光罩制程，将可节省15∼20%的制程时间，对提高生产力及降低成本，具有莫大效益。(拓墣提供)