采用金属冲压技术而不是MEMS技术的单镜片方式扫描投影机

    目前，许多研究机构和企业都在研究和开发一种新型的可低成本实现高清投影机的新技术---单镜片方式扫描投影机。
    日本产业技术综合研究所在日前召开的“MEMS 2006”会议上首次发表了该项投影技术：该技术通过以二维方式扫描单镜片，可显示高清图像，用于扫描激光的镜片驱动元件采用金属冲压技术而不是MEMS技术（MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统），单镜片方式扫描投影机是一种可低成本实现高清投影机的新投影技术，其能够以较低的成本和较小的尺寸实现大屏幕显示，从而将使嵌入手机的投影机和笔型投影机等产品的实现成为可能。

    日本产业技术综合研究所本次开发的该项技术利用尺寸约为4mm×8mm、厚度约30～50μm的不锈钢（SUS304）形成镜片驱动部。通过在这个部分形成PZT，即可实现基于压电元件的致动器。可通过施加给致动器的电压控制这种不锈钢板起伏波动。并利用这种运动扫描镜片（1mm×0.3～1mm）。

    单镜片方式扫描投影机技术具有两个突出特点：
    （1）利用金属实现驱动部：利用不锈钢实现驱动部，能够得到数十kHz的共振频率，从而就能进行高速扫描。要想显示高清图像，必须以36kHz的频率进行扫描。而此次开发的技术现已确证能够以50kHz的频率进行扫描。这是靠金属冲压加工实现的，与利用MEMS技术进行硅加工相比，能够降低成本。
    （2）利用ADM实现PZT膜，由此就实现了低成本、高速驱动：PZT膜的形成采用了ADM（aerosol deposition method，气胶成长法）技术。与基于普通MEMS工艺的薄膜形成技术相比，能够减少工序、降低成本。

相关技术简介--MEMS技术
 
　　MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 
　　
　　微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。 
 微电子机械系统（MEMS）的制造，是从专用集成电路（ASIC）技术发展过来的，如同ASIC技术那样，可以用微电子工艺技术的方法批量制造。但比ASIC制造更加复杂，这是由于微电子机械系统（MEMS）的制造采用了诸如生物或者化学活化剂之类的特殊材料，是一种高水平的微米/纳米技术。微米制造技术包括对微米材料的加工和制造。它的制造工艺包括：光刻、刻蚀、淀积、外延生长、扩散、离子注入、测试、监测与封装。 
　　　　
　　微电子机械系统的制造方法包括LIGA工艺（光刻、电镀成形、铸塑)、声激光刻蚀、非平面电子束光刻、真空镀膜（溅射）、硅直接键合、电火花加工、金刚石微量切削加工。目前，国际上比较重视的微型机电系统的制造技术有：牺牲层硅工艺、体微切削加工技术和LIGA工艺等，新的微型机械加工方法还在不断涌现，这些方法包括多晶硅的熔炼和声激光刻蚀等。